テクノロジー

ブルックスは最新の技術をあらゆる製品に搭載し、最も優れた、信頼性の高い、利用方法が簡易な真空製品開発を行っております。ブルックス製品をよりよく知って頂く為に、技術情報と製品紹介をご覧下さい。

クライオシステム　予防保守について

クライオポンプ

  • チャンバーメンテナンス毎時のリリーフバルブ部　Oリング　クリーニング(図参照)
  • 定期的なオーバーホールの実施（15,000～20,000時間毎）
  • マルチ運転の場合　同時交換の推奨
  • クールダウン時間を記録し管理する。（良否の判定）
  • OB-8Fの場合　3台同時運転、1台のみ運転の場合=100min
  • 2台が冷えていてその後1台運転の場合=120min

コンプレッサー

  • Heホース
  • 30,000時間（3年）でのアドソーバ交換------資料参照
    ＊定期交換を怠った場合：
    Heホース、ポンプ側へのオイル成分流入後ポンプ破損
    又　復帰の為には　Heホース、ポンプの全交換が必要になります.
  • ポンプ交換毎時のHeホース　ガス置換-------資料参照
  • 日常点検においてHe圧力確認⇒低下の場合---　Heガス充填
    停止時：
    M8510=200-210psi(50Hz/60Hz)
    M9600=255-265psi(50Hz), 240-250psi(60Hz)

    運転時：
    M8510=90-130psi (50Hz/60Hz)
    M9600=80-140psi(50Hz/60Hz)
真空ゲージ製品案内
ブルックスのスタビルイオン、マイクロイオン、コンベクトロンゲージに搭載された技術をご紹介します。
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クライオポンプ製品案内
クライオポンプ技術をご紹介します。
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クライオポンプの再生とは
クライオポンプの再生をわかりやすくご説明します。
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