よくあるご質問
下記をクリックすると、CTIクライオジェニックス製品をお使いになっているお客さまから寄せられたご質問と回答が表示されます。 テクニカルサポートにお問い合わせをいただければ、より詳しく説明いたします。技術的なご質問
全体
- 電源が落ちた時のリカバリーはどのようになっていますか？
- ポンプ内の正しいヘリウム圧は何ですか？
- ポンプより異音が聞こえます。ポンプ再生後は音が聞こえなくなりますが、またしばらくすると音がし始めます。なぜでしょうか？
- イオン注入装置でクライオポンプを使用しています。再生時に水素が排出されていると聞きました。特に注意することはありますか？
- FABのレイアウト変更に伴い、現在使用のヘリウムフレックスラインでは長さが足りない様です。どのようにしたら良いでしょうか？
- クライオポンプとコンプレッサーの設置に際し、どのような順序でフレックスラインを接続するのでしょうか？
- 真空システムに新しいクライオポンプをインストールしたばかりで、電源を入れてすぐに、うなり音がしました。他のポンプは、正常なのですが。
- ヘリウムホースやケーブル類を交換したいがどのようなタイプのヘリウムホース、ケーブルを使用すればよいのですか？
電源が落ちた時のリカバリーはどのようになっていますか？
回答：電源のリカバリー時、On-Boardモジュールは、Power Fail温度の設定値を参照します。もし電源リカバリー時の温度が設定値よりも低温であれば、2つの選択肢があります。1.ポンプをOFFの状態にして再生を行う。
2.ポンプをONの状態にしてポンプ温度を下げる。
通常、On-Boardクライオポンプの場合、セットポイントを25Kに、On-Boardウォーターポンプの場合150Kに設定します。
ポンプ内の正しいヘリウム圧は何ですか？
回答：コンプレッサーの機種と、電源周波数により異なります。下の表をご覧ください。| コンプレッサー | 電源周波数 | |
| 50Hz帯 | 60Hz帯 | |
| 8500 | 200～210p | 200～210p |
| 8510 | 200～210p | 200～210p |
| 8200 | 245～255P | 245～255p |
| 9600 | 255～265p | 240~250p |
| （1.76～1.83kPa） | （1.65～1.72kPa） | |
| 9700 | 255～265p | 220～230p |
| （1.76～1.83kPa） | （1.51～1.58kPa） | |
ポンプより異音が聞こえます。ポンプ再生後は音が聞こえなくなりますが、またしばらくすると音がし始めます。なぜでしょうか？
回答：ポンプ、コンプレッサーを循環しているヘリウムガスがが汚れて、純度が落ちている可能性があります。再生時などポンプの温度が高い時には、汚染物（コンタミ）は拡散しており、異音を発生しませんが、冷却されるとコールドヘッド内に汚染物（コンタミ）が凝縮されて、モーターに負荷を与えることにより、異音を発生することがあります。この場合、ヘリウムサーキットの置換作業が必要です。イオン注入装置でクライオポンプを使用しています。再生時に水素が排出されていると聞きました。特に注意することはありますか？
回答：安全性確保のため、再生時のパージ圧力が規定の圧力以上であることを確認してください。更に窒素ガスによる排気ラインの希釈を推奨致します。FABのレイアウト変更に伴い、現在使用のヘリウムフレックスラインでは長さが足りない様です。どのようにしたら良いでしょうか？
回答：コンプレッサーは必ずしもクライオポンプのそばに置いておく必要はありません。長い距離で設置したい場合でもラインが用意されています。クライオポンプとコンプレッサーの設置に際し、どのような順序でフレックスラインを接続するのでしょうか？
回答：接続するときはリターン→サプライの順に接続します。外すときはサプライ→リターンの順に外します。真空システムに新しいクライオポンプをインストールしたばかりで、電源を入れてすぐに、うなり音がしました。他のポンプは、正常なのですが。
回答：3フェーズのポンプを2フェーズのシステムに混在させてしまっていること、あるいはその逆が考えられます。 クライオポンプにあるパーツナンバーをお調べの上、インストールしたものが同一かどうかチェックして下さい。ヘリウムホースやケーブル類を交換したいがどのようなタイプのヘリウムホース、ケーブルを使用すればよいのですか？
回答：こちらのページでご確認下さい。