よくあるご質問

下記をクリックすると、CTIクライオジェニックス製品をお使いになっているお客さまから寄せられたご質問と回答が表示されます。 テクニカルサポートにお問い合わせをいただければ、より詳しく説明いたします。

技術的なご質問

ポンプ関連


キーパッドからOn-Boardクライオポンプの1stステージ、2ndステージの温度設定を変更できますか？

回答：できません。
キーパッドからは、1stステージ温度コントロールのON/OFFしかできません。温度コントロールの設定値変更には、RS-232Cを使用して、コマンドを送信する必要があります。

On-Boardモジュールは交換できますか？

回答：できません。
On-Boardモジュールには、個々のポンプで使用している温度センサー（SIDセンサー）の較正データが入っていますので、別のポンプのモジュールを使用すると、正しい温度が表示されなくなります。

On-Boardクライオポンプでは、再生の時期を表示してくれますか？

回答：できません。
ポンプの再生時期は到達圧力、ベースプレッシャーまでのリカバリー時間、ポンプの2ndステージの温度等から判断されます。

On-Boardキーパッドのパスワードを忘れてしまい、パラメータの変更などができなくなってしまいました。パラメータのリセット、変更はできますか？

回答：できます。弊社に御連絡ください

Control ファンクションからリレーセッティングを変更できますか？

回答：できません。
リレーセッティングは、Relay ファンクションから制御します。Control ファンクションは、リレーのON/OFFの制御、自動／手動の切り替えのために使われるものです。

Network Terminal(NIT) が"No Cryo Power 2"と表示し、ポンプがオフになりました。

回答：クライオポンプのモータが回転していません。コンプレッサーと入力電源を確認して下さい。

On-Boardクライオポンプの電源コネクタのピンアサインを教えてください。

回答：こちら（PDFファイル）をご覧ください。

On-Boardキーパッドからポンプのシリアルナンバーを知ることはできますか？

回答：Serviceファンクションキーを押すと、最初に、ポンプのシリアルナンバーと、使用しているプログラムのバージョンが表示されます。

一つの Network Terminal (NIT) でコントロールできるポンプの台数は何台ですか？

回答：20台までコントロールできます。

クライオポンプのラフバルブが開いていないと、どんな問題がありますか？

回答：ポンプの粗引きができません。ラフバルブのエアオペバルブ動作には60～80psig(4.2～5.6kgf/cm2)が必要とされています。これは、工場側用力のCDAの圧力を調整して使用することができます。また、パージ用N2ガスを使用してラフバルブを動作させることも可能です。但し、パージガス圧力が低いとラフバルブが開かないことによって警告を発することがあります。

プロセス中にクライオポンプの排気速度を絞る必要がありますが、絞る時にはチェンバー内の水のピークに注意しています。クライオポンプは水の排気速度が大きいので使っていますが、排気を絞ると水の排気速度も低下してしまいます。何か回避策はありますか？

回答：ブルックスでは、特殊な1stステージアレイ（スパッタプレート）をご用意しております。このアレイは板状で、0.25インチまたは0.5インチの穴が開いています。このアレイを使うと、プロセスガスに対する排気速度だけを絞ることが出来ると同時に、水の排気速度を最大限にあげることも出来ます。

ポンプ交換はどのように行えばよろしいですか？

回答：こちら（PDFファイル）をご覧ください。
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