よくあるご質問
下記をクリックすると、CTIクライオジェニックス製品をお使いになっているお客さまから寄せられたご質問と回答が表示されます。 テクニカルサポートにお問い合わせをいただければ、より詳しく説明いたします。技術的なご質問
ポンプ関連
- キーパッドからOn-Boardクライオポンプの1stステージ、2ndステージの温度設定を変更できますか？
- On-Boardモジュールは交換できますか？
- On-Boardクライオポンプでは、再生の時期を表示してくれますか？
- On-Boardキーパッドのパスワードを忘れてしまい、パラメータの変更などができなくなってしまいました。パラメータのリセット、変更はできますか？
- Control ファンクションからリレーセッティングを変更できますか？
- Network Terminal(NIT) が"No Cryo Power 2"と表示し、ポンプがオフになりました。
- On-Boardクライオポンプの電源コネクタのピンアサインを教えてください。
- On-Boardキーパッドからポンプのシリアルナンバーを知ることはできますか？
- 一つの Network Terminal (NIT) でコントロールできるポンプの台数は何台ですか？
- クライオポンプのラフバルブが開いていないと、どんな問題がありますか？
- プロセス中にクライオポンプの排気速度を絞る必要がありますが、絞る時にはチェンバー内の水のピークに注意しています。クライオポンプは水の排気速度が大きいので使っていますが、排気を絞ると水の排気速度も低下してしまいます。何か回避策はありますか？
- ポンプ交換はどのように行えばよろしいですか？
再生(リジェネ)関連
- ファストリジェネ（急速再生）何回毎にフルリジェネ（フル再生）が必要ですか？
- ゲート（メイン）バルブをクリーニングしたいのですが、フルリジェネのどのポイントでフルリジェネを停止するのがいいですか？
- ポンプ再生中の"Rough Share Wait"とはどのような意味ですか？
- システムの稼動率と生産性を向上させたいのですが、クライオポンプ再生に伴う、装置のダウンタイムを減らせますか？
- フルリジェネの完了前にエラーになります。原因は何が考えられるでしょうか？
コンプレッサー関連
- 例えば、モデル8500などの古いコンプレッサーで、On-Boardポンプを稼動することはできますか？
- 一つのコンプレッサーからOn-BoardクライオポンプとOn-Boardウォーターポンプを、同時に稼動させることはできますか？
- 設置済みコンプレッサーへのアクセスが困難のため、アドゾーバー交換が出来ません。アドゾーバーの交換は必要ですか？
- コンプレッサーのアドゾーバーの推奨交換周期はどのくらいでしょうか。
- ヘリウムガスを充填したいのですが、どのように行えばよろしいですか？
- モデル8500からモデル9600にアップグレードしたいが、アップグレードに際してどのような部材が必要となりますか？
全体
- 電源が落ちた時のリカバリーはどのようになっていますか？
- ポンプ内の正しいヘリウム圧は何ですか？
- ポンプより異音が聞こえます。ポンプ再生後は音が聞こえなくなりますが、またしばらくすると音がし始めます。なぜでしょうか？
- イオン注入装置でクライオポンプを使用しています。再生時に水素が排出されていると聞きました。特に注意することはありますか？
- FABのレイアウト変更に伴い、現在使用のヘリウムフレックスラインでは長さが足りない様です。どのようにしたら良いでしょうか？
- クライオポンプとコンプレッサーの設置に際し、どのような順序でフレックスラインを接続するのでしょうか？
- 真空システムに新しいクライオポンプをインストールしたばかりで、電源を入れてすぐに、うなり音がしました。他のポンプは、正常なのですが。
- ヘリウムホースやケーブル類を交換したいがどのようなタイプのヘリウムホース、ケーブルを使用すればよいのですか？
