残留ガス分析計｜グランビルフィリップス 真空計システム

ブルックスのグランビルフィリップス真空機器は、安定した高精度の真空計測の必要性に応える製品として全世界的に使用されています。グランビルフィリップス真空システムは、ゲージ、コントローラー、真空計測システムは常圧から高真空に至る種々の環境でお使いいただけるラインアップを用意しております。
正確で安定した計測品質には、グランビルフィリップス製品が最適です。

モジュールソルーション

グランビルフィリップスの真空計とコントローラを一体化したモジュールショリューションは、省スペース・省コストで高品質な真空計測をお届けします。

測定範囲からモジュールをお選び下さい。

ゲージ

グランビルフィリップスのサーモカップル（TC）ゲージや業界標準であるコンベクトロンゲージを含む熱損失センサーは低真空において信頼性が高い測定が可能です。 また高真空はBAゲージ、ヌードゲージ、マイクロイオンゲージ、超高真空の計測には業界最高位の測定精度と再現性をもって計測します。

高真空から超高真空まで、画期的なグランビルの技術を搭載した真空計のラインアップをご紹介します。

コントローラ

熱損失センサー、サーモカップル（TC）ゲージ、イオンゲージ（電離真空計）を組み合わせ、幅の広い計測モニターを可能にするコントローラを取り揃えております。

・アナログ、RS-253,　RS-485,　DeviceNetのなどの通信を選択頂けます。
・コントローラの表示はPascal、Torr、ｍbarから選択頂けます。

真空バルブ(バリアブルリークバルブ)

300 Torr liters/秒以上からbelow 10E-10 Torr liter/秒以下までを連続可変できる真空バルブです。

※GRANVILLE-PHILLPSは、BROOKS AUTOMATION INCの登録商標です。