グランビルフィリップス 真空計システム

ブルックスがお届けするイオントラップ方式（ARTMS）を用いたバキュームクオリティモニター（VQM）システムは、これまでの四重極質量分析装置に較べ、高感度かつ迅速(四重極質量分析装置に較べ計測速度は20から30倍)に残留ガス分析、品質保証検査、定量分析を行います。このARTMS構造はこれまでの四重極質量分析装置では成しえなかった測定子と電装系との分離を可能にして設置の自由度と操作性を飛躍的に高めました。軽量コンパクト、経済性にも優れたこのイオントラップ質量分析装置は理想的な“Simple Solutions” を提供します。

グランビル・フィリップスのシンプリシティーソリューションズは、複雑な計測結果を実用的な情報に変換するインテリジェントな計測機能を提供します。シンプリシティーソリューションズ830バキュームクオリティーモニター（VQM）システムは、世界最速のデータロギングシステムを持ち、かつ最も低い消費電力でガス組成分析を行います。1～135amuの範囲のスペクトル解析をわずか0.1secで完了します。

追加設定をすることなく、10種の主要構成ガスについて、全圧推移、分圧推移、スペクトル表示、データロギング、データキャプチャー（スクリーニング）、ならびに警報音機能付き漏洩検知を、すべて0.1secという高速サンプリングレートで実行することができます。低消費電力のコントローラーおよびゲージシステムは、動作時にわずか15Wの電力しか必要としません。また、1mまたは3mのケーブルで830ゲージ測定子を電装系から分離してリモート設置することが可能です。

シンプリシティーソリューションズは、静電イオントラップに基づく次世代質量分離技術を採用し、従来の四重極子または質量セクター技術に比べ、

を実現しています。

シンプリシティーソリューションズでは、迅速な機器設置を可能とし、立ち上げ作業に多くの労力と時間を必要としない“contact-and -go”を実現しました。

 

■1～135amuの全圧および分圧計測情報を0.1secでスキャン可能な高速応答性

■瞬時に取り出せる情報：10種類の主要構成ガスについて、正規化比率、パーセンテージおよび絶対値で表示、全圧および分圧推移グラフが瞬時に作成可能

■低質量元素、水素およびヘリウムの高精度計測が可能（ゼロ点付近でのブラストなし）

■0.1secの高速サンプリングレートによるデータロギングが可能

■真空システムにある単一既存ガス種を利用しての容易なガスキャリブレーションが可能

■15Wの低消費電力

■コンパクトな測定子で、1mまたは3mのケーブル接続で測定子のみのリモート設置が可能

※GRANVILLE-PHILLPSは、BROOKS AUTOMATION INCの登録商標です。