クライオポンプ・真空計・残留ガス分析計・真空技術分野 製品

ブルックスオートメーション社は の半導体デバイス製造、データストレージ、最新鋭ディスプレイ産業などにおける自動化、真空、測定器製品やソリューションを提供いたします。 ブルックスの革新的な技術やアプリケーションの幅広く深い知識で、お客様に満足いただけるBEST IN CLASSの製品ラインアップをご紹介します。

自動搬送装置

ブルックスの自動搬送装置は、ドライやウエット、真空搬送システム、モジュールや装置とのインターフェイスなどの半導体デバイス製造工場で必要な様々なご希望にお答えできる、ロードポートモジュールや、FOUPトラッキング、アライアメントやキャリブレーション装置やサービスなどラインアップを用意しています。

ファクトリーオートメーション

ブルックスの自動製品搬送システム（Automated Materila Handling Systems(AHMS)はウエハーやレチクルの生産工程を管理し、保管し、搬送いたします。 またウルトラクリーンミニエンバイロメント（SMIF）ソリューションはクラス0.1のウエハーレベルを、クラス1000の環境内で提供する信頼性が高く、リカバリー時間を抑えたシステムです。

CTIクライオポンプ

ブルックスのCTIクライオジェニックス製品は、各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

グランビルフィリップス真空計システム

ブルックスのグランビルフィリップス真空機器は、安定した高精度の真空計測の必要性に応える製品として全世界的に使用されています。

ポリコールドシステムPolycold®

ポリコールドシステムは、ブルックスオートメーション特徴的な特許である冷凍技術を駆使した、最高品質なクローズドループ　クールソリューションです。

PTI エアーフローコントローラ:排気圧コントローラー

ブルックスの排気圧コントローラーはコータデベロッパ、常圧拡散炉、ウエットステーション、RTP（Rapid Thermal Process）、APCVD（常圧CVD）など正確な排気制御が要求される様々なアプリケーションに最適な製品です。

Legacy Products