ファクトリーオートメーション

アラインメント・キャリブレーション

200MM SMIF POD OPENER

200MM SMIF POD OPENERQuickly gain access to 200mm wafers stored in a closed SMIF pod! The MPO-2000 provides precision manual opening and closing of 200 mm SMIF pods. Place it on, or mount to, work benches, WIP racks, or carts. Ergonomic in deign and use, the MPO-2000 is a perfect addition to your fab.

データシート MPO-2000
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装置の販売は安川ブルックスオートメーション社が行っています。
■お問い合わせ先:http://www.yaskawabrooks.co.jp/
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