ファクトリーオートメーション

アラインメント・キャリブレーション

200MM RETICLE CASSETTE CARRIER

200MM WAFERS IN 300MM FOUP

Handles multiple reticles in a 200 mm cassette form factor. This allows reticle handling to be done with standard semiconductor automation components including 200 mm SMIF robots.

データシート CA-2000
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装置の販売は安川ブルックスオートメーション社が行っています。
■お問い合わせ先:http://www.yaskawabrooks.co.jp/
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