ファクトリーオートメーション

アラインメント・キャリブレーション

200MM CASSETTES ON 300MM LOAD PORTS

Brooks' AM-3006 wafer adapter allows 200mm wafers to be handled on a 300mm load port! Simply place the unit on the kinematic pins and place a 200mm open cassette on the adapter. Remove the adapter at any time to return to 300mm capability.

The AM-3006 was introduced in spring of 2005. It incorporates many improvements over the older AM-3002. Brooks Automation will continue to offer the AM-3002 to the large customer base that has integrated or qualified the AM-3002.

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