ファクトリーオートメーション

最新の半導体デバイスやその他複雑な製造工程を要する工場でのファクトリーオートメーションにはブルックスの製品を是非お選び下さい。お客様の製造工程の効率化、生産性向上、歩留まり向上に貢献いたします。ブルックスの自動製品搬送システム（Automated Materila Handling Systems(AHMS)はウエハーやレチクルの生産工程を管理し、保管し、搬送いたします。 またウルトラクリーン　ミニエンバイロメント（SMIF）ソリュ＾ションはクラス0.1のウエハーレベルを、クラス1000の環境内で提供する信頼性が高く、リカバリー時間を抑えたシステムです。

アラインメント・キャリブレーション

ブルックスは、半導体産業のツールアライメントおよびウエハー搬送のニーズに対応した革新的な製品とサービスを提供します。日本国内では、株式会社丸紅が販売を行っております。

SMIF製品

ブルックスのSEMIおよびCE準拠SMIF製品は、メーカー各社が今日求める高い相互運用性、世界クラスの性能、ならびに低所有コストを実現します。

リソグラフィーオートメーション

ブルックスのリソグラフィーオートメーションソリューションは、他のソリューションと組み合わせて包括的な自動レチクル搬送システム（ARDS）として利用することも、小さな製造環境でスタンドアロン型製品として運用することも可能です。

AMHS

ブルックスは、半導体ウエハーキャリアーおよびレチクルの搬送や保管、管理を行うための最も包括的な自動材料搬送システム（AMHS）を提供します。