CTIクライオポンプ

CTIクライオジェニックス製品は、極低温高真空技術で世界トップレベルです。 CTIは、幅広いクライオポンプ製品や、クライオポンプシステムを提供しており、比類のない性能、信頼性および生産性を実現しています。各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

オンボードウォーターポンプ

On-Boardウォーターポンプは高いスループットを実現する、高性能の真空ポンプです。従来にないコンフィグレーションでより良いプロセスと成果をもたらすもので、どんなアプリケーションにも対応します。
On-Boardウォーターポンプは水蒸気に対し、超高速な排気を実現するよう開発された製品です。特にPVDあるいはポンプダウンに時間がかかる他のアプリケーションにおいて、その魅力的な能力が発揮されます。
In-Lineタイプのウォーターポンプは、下の表にあるように水蒸気の排気速度を高める技術によって、高速排気システムのパフォーマンスを最適化しています。

• 従来より50%から70%も排気時間を短縮。
• 水蒸気の減少とコンタミの低下を通して、より高い生産性を実現。
• 水蒸気のポンピングレベルを調整可能な温度コントロール。ゲートバルブ無しでも使えます。
• In-Line、In-Situ、Appendageのコンフィグレーションから選択出来ます。
• 高性能On-Boardコントロールシステム。
• エッチング、CVD、PVD装置での排気に最適。
• ロードロック、搬送チャンバー、プロセスチャンバーへの取り付けが可能。

On-Boardウォーターポンプ (シリンダー直列、付加)

	4"	6"	8"	10"	10"
排気速度　L/sec	1,100	2,500	4,000	7,000	16,000
コンダクタンス　L/sec(N2 In-Lineタイプ)	450	1,000	1,800	2,800	7,200

On-Boardウォーターポンプ (原形のコンフィギュレーション)

排気速度	In-Situタイプのウォーターポンプは、1平方インチあたり96L/secの排気速度を持っていて、クライオパネルの表面積によって変わります。例えば、14,000l/secの排気速度は10ﾓ×15ﾓのパネルで実現されます。カスタムメイドのクライオパネルは、あらゆる真空チャンバーに対応するように設計することが可能です。

仕様は予告なく変更になる場合があります。