CTIクライオポンプ

CTIクライオジェニックス製品は、極低温高真空技術で世界トップレベルです。 CTIは、幅広いクライオポンプ製品や、クライオポンプシステムを提供しており、比類のない性能、信頼性および生産性を実現しています。各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

オンボード®ISクライオポンプシステム

インテリジェントなクライオポンプシステム

極低温真空技術の新たな世界標準になったオンボードISクライオポンプシステムは、ブルックスの最新の高効率極低温技術を活用して、真空性能とエネルギー効率を実現します。

• 特許取得済みの分散制御システムにより、クライオポンプシステムの個々の性能に対してモニタリングと調整が常時行われるため、システム全体で最適な真空性能が維持され、他社にないプロセス整合性が実現
• シングルおよびマルチポンプ構成において、迅速な再生を実行
• CTIクライオジェニックスクライオポンプと比較しても、真空性能は維持したまま、エネルギーと冷却水の消費量を最小化
• 容易にシステムインテグレーションができ、短時間で立ち上げ可能
• ゴールドリンク機能により、遠隔モニタリングができ、予防保全と予知保全の双方に対応
• あらゆるクライオポンプシステムの中で、最も長い稼働時間、優れた生産性、低コストを実現
• 定評あるブルックスの世界規模のサービスとサポートによるバックアップ

※ON-BOARD, GOLDLinkはBrooks Automation Incの登録商標です。