CTIクライオポンプ

CTIクライオジェニックス製品は、極低温高真空技術で世界トップレベルです。 CTIは、幅広いクライオポンプ製品や、クライオポンプシステムを提供しており、比類のない性能、信頼性および生産性を実現しています。各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

オンボードクライオポンプ

オンボードクライオポンプは、コミュニケーション能力を高め、安定した動作を実現する、マイクロプロセッサコントロールが内蔵されています。オンボードラットフォームはGUIベースの使いやすいインターフェースでパフォーマンスを向上させ、クライオポンプをより簡単にお使いいただけるようになっております。今日では、オンボードクライオポンプは、そのパフォーマンスと信頼性で世界標準となっています。重要な真空プロセスアプリケーションにおいて、確実で高度な処理やスループットを実現するために、クリーンで安定した高速真空排気をご提供いたします。

• 高速再生
• オイルフリーな超高真空ポンプ
• 低い残留ガス分圧の達成
• ポンプダウンタイム短縮のための高速真空排気
• イオン注入、PVD、スパッタリング装置に最適

オンボードクライオポンプモデル	4F	8	8F	10	10F	400
排気速度　Liter/sec
水蒸気	1,100	4,000	4,000	9,000	9,500	17,500
大気	370	1,500	1,500	3,000		6,000
水素	370	2,500	2,200	5,000		12,000
アルゴン	310	1,200	1,200	2,500		5,000
吸蔵量　Std. Liter
アルゴン	210	1,000	1,000	2,000		2,500
水素(5x10-6 トール)	3	17	12	24	24	42
標準的な再生時間　(Cold to cold)
通常の再生	75 min.	2.5 hrs	2.5 hrs	2.5 hrs	2.5 hrs	3 hrs
高速再生	<1 hr	<1 hr	<1 hr	<1 hr	<1 hr	<1.5 hrs

※On-Board　は　Brooks Automation Incの登録商標です。