CTIクライオポンプ

CTIクライオジェニックス製品は、極低温高真空技術で世界トップレベルです。 CTIは、幅広いクライオポンプ製品や、クライオポンプシステムを提供しており、比類のない性能、信頼性および生産性を実現しています。各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

クライオトール®クライオポンプ

クライオトールクライオポンプは、厳格な運用が求められる真空プロセスアプリケーション向けに、優れた清浄性と信頼性を備えた高速排気を実現します。迅速かつ容易な保守、低い運用コスト、そして必要なときにいつでも利用可能な信頼性に優れた顧客サポートにより、確かなソリューションを提供します。

• CTIクライオジェニックスのオリジナル極低温高真空ポンプ
• 信頼できるボトムラインパフォーマンス
• カスタム制御機能やサポートペリフェラルを追加可能
• 定評あるブルックスの世界規模のサービスとサポートによるバックアップ

クライオトール®クライオポンプモデル	8	>8F	>10
排気速度　Liter/sec
水蒸気	4,000	4,000	9,000
大気	1,500	1,500	3,000
水素	2,500	2,200	5,000
アルゴン	1,200	1,200	2,500
吸蔵量　Std. liter
アルゴン	1,000	1,000	2,000
水素　(5x10-6 トール)	12	8	24