CTIクライオポンプ

CTIクライオジェニックス製品は、極低温高真空技術で世界トップレベルです。 CTIは、幅広いクライオポンプ製品や、クライオポンプシステムを提供しており、比類のない性能、信頼性および生産性を実現しています。各種の先端技術研究アプリケーションで利用される単体型のクライオポンプから、半導体やデータストレージ、フラットパネル、光学デバイスの製造で利用される高性能なクライオポンプシステムに至るまで、CTIクライオジェニックスは、極低温高真空技術の世界標準を確立しています。

コンプレッサ

8200コンプレッサー

オンボードクライオポンプ、オンボードウオーターポンプ、ならびにクライオトールクライオポンプと連動して最適な性能を発揮するよう設計されています。8200コンプレッサーは、最大8インチサイズのポンプをすべてサポートし、柔軟な設計に対応するため、システム運用において最も都合の良い場所に配置することができます。

9600コンプレッサー

特に、長い耐用期間、高い信頼性、ならびに優れた操作性を満たすよう設計されています。クライオトールクライオポンプ、オンボードクライオポンプ、オンボードウオーターポンプ、ならびにオンボードターボプラスバキュームポンプと連動して卓越した性能を発揮します。.9600コンプレッサーは、シングル型とグループ型の両方のポンプ構成をサポートし、世界中の新規および既存のCTIクライオジェニックスポンプ装置と互換性を備えています。

9700Aコンプレッサー

ブルックス・ジャパンの9600コンプレッサープラットフォームをベースとしており、クライオポンプコンプレッサー技術において最も高い信頼性を実現します。ヘリウム生成量を増加した9700Aコンプレッサーは、複数のクライオポンプの運用に理想的です。

複数のクライオポンプおよびウオーターポンプを運用する多くのアプリケーションにおいて、1つの9700Aコンプレッサーで、シングルコンプレッサーソリューションが実現します。9700Aコンプレッサーは、マルチコンプレッサーアプリケーションと比較して、消費電力、配水量、ならびに占有面積を削減します。9700Aコンプレッサーは、クライオトールおよびオンボードクライオポンプとの互換性を備えています。

統合されたクライオポンプ電力周波数変換装置により、すべてのブルックス真空ポンプにおいて、50Hzと60Hzの両方のアプリケーションで最大限のクライオポンプ性能を引き出すことができます。