自動搬送装置

ブルックスの自動搬送装置は、ドライやウエット、真空搬送システム、モジュールや装置とのインターフェイスなどの半導体デバイス製造工場で必要な様々なご希望にお答えできる、ロードポートモジュールや、FOUPトラッキング、アライアメントやキャリブレーション装置やサービスなどラインアップを用意しています。

半導体業製造装置メーカーやデバイスメーカー、高度な製造工程を必要とする装置メーカーのお客様にブルックス製品をご利用いただくことで、製造工程の効率化と生産性を向上にお役立ていたします。

ウエハー搬送システム 真空エリア

ブルックスの先進的な真空ウエハー搬送技術は、半導体ウエハー処理など、複雑な製造環境のツールオートメーションアプリケーションに理想的です。

ウエハー搬送ロボット 真空エリア

実績のあるブルックスのウエハー搬送ロボットおよびモジュールは、優れた性能と総所有コスト削減を実現し、メーカー各社に対して製造効率の向上と利益の促進をもたらします。

ウエハー搬送システム 大気側

ブルックスの大気システムは、柔軟な設定が可能で、既成オプションの選択肢が幅広く用意されているため、各種用途に固有のニーズを満たし、急速に進化する産業要件に対応するよう容易に適合させることができます。

ウエハー搬送ロボット 大気側

ブルックスの大気ロボットおよびモジュールは、さまざまな世代にわたる業界トップのオートメーション標準を活用して、今日の先進的な製造工程で必要とされる処理能力、反復精度および清浄度の最適な組み合わせを実現します。

FOUP用ロードポートモジュール

ブルックスのロードポートモジュールは、FOUPの相互運用性に向けて超清浄性能と優れたロードポートを提供し、半導体メーカーが今日求めている厳格な要件を満たします。

FOUP用トラッキング

ブルックスのRFIDソリューションポートフォリオは、リーダー管理からトリガーアクション、サプライチェーン管理まで、さまざまな機能をカバーしています。